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          單溫區PE-CVD系統

          單溫區PE-CVD系統

          產品型號: TFE-1200-50-I-220

          所屬分類:TFC化學氣相沉積

          產品時間:2022-03-29

          簡要描述:單溫區PE-CVD系統
          高性能射頻電源.等離子體更穩定;
          滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區.并可實現快速升溫和降溫功能;
          與傳統CVD相比較.生長溫度更低

          詳細說明:

          單溫區PE-CVD系統

          高性能射頻電源.等離子體更穩定;

          滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區.并可實現快速升溫和降溫功能;

          與傳統CVD相比較.生長溫度更低






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